精密 XY 運動平臺,滿足高速、高加速、高精度的產品定制需求,適用于LED封裝檢測、玻璃片檢測、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等。
定制品,可根據客戶需求定制。
無鐵芯直線電機驅動,光柵尺編碼反饋
最大速度 300mm/s , 最大加速度0.3g
亞微米級重復定位精度
進口高剛性直線導軌,可保證長期穩(wěn)定的精度。
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